مشخصات پژوهش

عنوان	تهیه و ساخت لایه های Au-Pd و مطالعه ی آنها با روش طیف سنجی RBS
نوع پژوهش	پایان نامه
کلیدواژه‌ها	لایه نشانی، لایه های نازک Au-Pd، انباشت با پرتوی الکترونی، نانو ذرات
چکیده	فیلم های نازک فلزی اهمیت زیادی در فن آوری های معاصر نظیر پوشش های اپتیکی، تجهیزات الکتریکی و ...... دارند. همانطور که می دانیم خواص فیزیکی مواد به ویژه فلزات در اندازه ی نانو تفاوت زیادی با خواص آن در حالت توده ای دارد و همچنین پخت این مواد باعث تغییراتی در این خواص می شود. در این پژوهش لایه های نازک Au-Pd با ضخامت های 1400 آنگستروم بوسیله ی فرآیند انباشت با پرتو ی الکترونی تحت خلاء بالا، که جزء روش های فیزیکی است بر روی زیرلایه های شیشه ای نشانده شد. سپس نمونه ها در دمای 600 درجه ی سلسیوس به مدت یک ساعت پخت شدند. ضخامت آنها مجدداً توسط آنالیز RBS اندازه گیری شد. نتیجه ی به دست آمده حاکی از آن بود که در اثر پخت نمونه ها و پر شدن حفره های هر لایه توسط ماده ی لایه ی دیگر، ضخامت فیلم ها کاهش یافته، همچنین دریافتیم که ضخامت سنج کریستالی دستگاه بین 5تا 20 درصد خطا دارد. خواص فیزیکی و مورفولوژی آنها نیزتوسط پراش پرتوی X(XRD)، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)و میکروسکوپ نیروی اتمی(AFM) مورد بررسی قرار گرفت. نتایج بیا ن کننده آن است که در اثر پخت، نانو ذرات پالادیوم تشکیل شد اما ساختار نانو متری برای طلا ایجاد نشد و ما میکرو ذرات طلا را داشتیم. همچنین با سرد شدن آهسته ی نمونه در محیط کوره شاهد ترکیب و یکنواختی بیشتر فیلم حاصل بودیم.ترکیبات عنصری نمونه ها هم نشان داد که طی فرآیند پخت، اکسید پالادیوم و اکسید طلا نیز تشکیل شدند
پژوهشگران	مهدی حاجی ولیئی (استاد راهنما)، مهشید امانی (دانشجو)