مشخصات پژوهش

عنوان	تهیه لایه های نازک پالادیوم به روش انباشت با پرتو الکترونی و بررسی خواص فیزیکی آن
نوع پژوهش	پایان نامه
کلیدواژه‌ها	لایه های نازک پالادیوم، انباشت با پرتو الکترونی، بازپخت، میکروذرات
چکیده	پالادیم عنصری از گروه پلاتین است که دارای ویژگی های منحصر به فردی می باشد. این فلز جزء عناصر پایدار است که در دمای معمولی با اکسیژن ترکیب نمیشود. پالادیم توانایی جذب قابل توجهی گاز هیدروژن دارد همچنین می تواند هیدروژن را غربال کند. پالادیم کاتالیزگر خوبی نیز می باشد. این ویژگی های پالادیم موارد استفاده از آن را گسترده کرده است. برای ایجاد لایه های نانومتری دو فرآیند فیزیکی و شیمیایی وجود دارد، که هر یک از این فرآیندها به روش های مختلفی انجام می شود. فیلم های نازک فلزی اهمیت زیادی در فن آوری های معاصر نظیر پوشش های اپتیکی، تجهیزات الکتریکی و ......دارند. همانطور که می دانیم خواص فیزیکی مواد به ویژه فلزات در اندازه نانو تفاوت زیادی با خواص آن در حالت توده ای دارد و همچنین بازپخت این مواد باعث تغییراتی در این خواص می شود. در این پژوهش لایه های نازک پالادیم با ضخامت های 500 و 1300 آنگستروم بوسیله فرآیند انباشت با پرتو الکترونی تحت خلاء بالا که جزء روش های فیزیکی است بر روی زیرلایه های شیشه ای و کوارتز نشانیده شد. سپس نمونه ها در دماهای 600 و 1000 درجه سلسیوس به مدت یک و دو ساعت بازپخت شدند. ضخامت آنها مجددا توسط آنالیز RBS اندازه گیری شد. نتیجه به دست آمده حاکی از آن بود که ضخامت سنج کریستالی دستگاه بین 2 تا 20 درصد خطا دارد. خواص فیزیکی، اپتیکی و مورفولوژی آنها توسط پراش پرتو X(XRD)، اسپکتروفتومتری فرابنفش-مرئی (UV-VIS)و میکروسکوپ الکترونی روبشی-گسیل میدانی (FE-SEM) مورد بررسی قرار گرفت.برای ترکیب عنصری نمونه ها از طیف نمایی تفکیک انرژی (EDX)استفاده گردید. نتایج بیا ن کننده آن است که با افزایش ضخامت و دمای بازپخت میکرو پالادیم تشکیل شده اند، ترکیبات عنصری نمونه هم نشان داد که در دمای 600 درجه اکسید پالادیم تشکیل شده است.
پژوهشگران	مهدی حاجی ولیئی (استاد راهنما)، نیره بابایی راغب (دانشجو)