مشخصات پژوهش

عنوان	تاثیر دمای بازپخت در ایجاد لایه های نازک پالادیوم
نوع پژوهش	مقاله ارائه شده کنفرانسی
کلیدواژه‌ها	لایه نازک پالادیوم، خواص فیزیکی، دمای باز پخت، RBS
چکیده	در این پژوهش ، لایه های نازک پالادیم با ضخامت تقریبی 50نانو متر به وسیله عمل تبخیر با باریکه الکترونی در خلاء بالا ) ( بر روی زیر لایه های شیشه ای تخت نشانیده شد و سپس در دماهای 873 و 1273کلوین به مدت 1و 2 ساعت در معرض هوا در کوره بازپخت شدند. برای دست یافتن به اندازه دقیق ضخامت لایه های نازک، از آنالیز RBS استفاده شد. خواص فیزیکی و مورفولوژی آنها به صورت تابعی از دمای بازپخت به وسیله آنالیز طیف سنج پراش پرتو ایکس ) XRD (، تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی ) FE-SEM ( و آنالیز EDX مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفت . نتایج به دست آمده حاکی از آن است که با افزایش دمای بازپخت خواص بلوری نمونه افزایش یافته و اندازه ذرات تغییر کرده است.
پژوهشگران	نیره بابایی راغب (نفر اول)، مهدی حاجی ولیئی (نفر دوم)