مشخصات پژوهش

عنوان	تعیین ضخامت، چگالی و ناهمواری لایه نازک ITO با استفاده از تکنیک XRR
نوع پژوهش	مقاله ارائه شده کنفرانسی
کلیدواژه‌ها	لایه های نازک، بازتاب پرتو ایکس XRR ،اکسید ایندیوم قلع ITO
چکیده	در این تحقیق، لایه نازک اکسید ایندیوم قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر زیرلایه شیشه تهیه شده است. سپس با استفاده – از تکنیک بازتاب سنجی پرتو (XRR) x θ( 3θ نمودار لگاریتمی شدت برحسب زاویه تابش پرتو x( رسم شده است و با استفاده از داده های حاصل از XRR ضخامت ، چگالی و ناهمواری سطح لایه نازک محاسبه شده است نتایج حاصله توافق خوبی با نتایج حاصل از AFM و طیف عبوری UV-VIS-NIR از خود نشان داده است.
پژوهشگران	داود رئوفی (نفر اول)، عاطفه طاهرنیا (نفر دوم)، لیلا افتخاری (نفر سوم)