1404/02/01
داود رئوفی

داود رئوفی

مرتبه علمی: دانشیار
ارکید:
تحصیلات: دکترای تخصصی
اسکاپوس: 20434506200
دانشکده: دانشکده علوم پایه
نشانی:
تلفن:

مشخصات پژوهش

عنوان
تعیین ضخامت، چگالی و ناهمواری لایه نازک ITO با استفاده از تکنیک XRR
نوع پژوهش
مقاله ارائه شده کنفرانسی
کلیدواژه‌ها
لایه های نازک، بازتاب پرتو ایکس XRR ،اکسید ایندیوم قلع ITO
سال 1393
پژوهشگران داود رئوفی ، عاطفه طاهرنیا ، لیلا افتخاری

چکیده

در این تحقیق، لایه نازک اکسید ایندیوم قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر زیرلایه شیشه تهیه شده است. سپس با استفاده – از تکنیک بازتاب سنجی پرتو (XRR) x θ( 3θ نمودار لگاریتمی شدت برحسب زاویه تابش پرتو x( رسم شده است و با استفاده از داده های حاصل از XRR ضخامت ، چگالی و ناهمواری سطح لایه نازک محاسبه شده است نتایج حاصله توافق خوبی با نتایج حاصل از AFM و طیف عبوری UV-VIS-NIR از خود نشان داده است.