در این تحقیق، لایه نازک اکسید ایندیوم قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر زیرلایه شیشه تهیه شده است. سپس با استفاده – از تکنیک بازتاب سنجی پرتو (XRR) x θ( 3θ نمودار لگاریتمی شدت برحسب زاویه تابش پرتو x( رسم شده است و با استفاده از داده های حاصل از XRR ضخامت ، چگالی و ناهمواری سطح لایه نازک محاسبه شده است نتایج حاصله توافق خوبی با نتایج حاصل از AFM و طیف عبوری UV-VIS-NIR از خود نشان داده است.