برای تعیین سلامت یا یکپارچگی سطح بایستی بافت، ساختار، ترکیب سطح ولایه تغییر یافته زیر سطح مورد ارزیابی قرار گیرد. بافت سطح شامل چهار عامل خشونت سطحی (Roughness)، موجی بودن (Waviness)، چینه بندی (Lay)، عیوب (Flaws) می شود. عوامل موثر در تغییرات سطحی شامل انرژی مکانیکی (تنشهای باقیمانده مکانیکی در لایه زیر سطحی، ترکهای میکروسکوپی و ماکروسکوپی، لبه ها، پلیسه ها، چین و چروکها ، حفره ها یا آخالهای مکانیکی، کارسختی) ، انرژی حرارتی (تغییرات متالورژیکی، رسوب یا انجماد مجدد مواد ، ناحیه تحت تاثیر قرار گرفته از حرارت HAZ ، تغییرات سختی) ، انرژی شیمیایی (آلودگی شیمیایی، جذب عناصر خاص مانند ئیدروژن و کلر در سطح فلزی، خوردگی، حفره دار شدن و اچ شدن، حل شدن اجزاء میکرونی ، فرسایش آلیاژی ) و انرژی الکتریکی (تغییرات در هدایت الکتریکی یا خواص مغناطیسی، حفره های ایجاد شده ناشی از اتصال کوتاه طی فرآیندهای الکتریکی) می شود. سلامت یا یکپارچگی سطح تاثیرزیادی روی کارایی، طول عمر و اعتبار (قابلیت اطمینان) قطعات دارد.
