در این مقاله نانو لایه های نازک قلع-طلا به روش انباشت با پرتوی الکترونی که جزء روشهای فیزیکی بخار میباشد، تهیه گردید. سپس لایه های تهیه شده، درون کوره در دو دمای ℃ 220 و ℃ 300 پخت داده شدند. برای بررسی خواص و مورفولوژی لایه ها از آنالیزهای XRD ، SEM و AFM استفاده شد. در نهایت لایه های بدون پخت و پخت داده شده ی Sn-Au را مورد بررسی قرار دادیم؛ که دما روی خواص سطح نمونه ها تاثیر بسیاری دارد.