در این پژوهش ، لایه های نازک پالادیم با ضخامت تقریبی 50نانو متر به وسیله عمل تبخیر با باریکه الکترونی در خلاء بالا ) ( بر روی زیر لایه های شیشه ای تخت نشانیده شد و سپس در دماهای 873 و 1273کلوین به مدت 1و 2 ساعت در معرض هوا در کوره بازپخت شدند. برای دست یافتن به اندازه دقیق ضخامت لایه های نازک، از آنالیز RBS استفاده شد. خواص فیزیکی و مورفولوژی آنها به صورت تابعی از دمای بازپخت به وسیله آنالیز طیف سنج پراش پرتو ایکس ) XRD (، تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی ) FE-SEM ( و آنالیز EDX مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفت . نتایج به دست آمده حاکی از آن است که با افزایش دمای بازپخت خواص بلوری نمونه افزایش یافته و اندازه ذرات تغییر کرده است.
