مهدی حاجی ولیئی

برای ایجاد نانو و لایه نشانی معمولاً از دو نوع فرآیند، یعنی لایه نشانی فرآیند فیزیکی و لایه نشانی فرآیند شیمیایی استفاده می شود که هر یک از این فرآیند ها به روش های مختلفی انجام می شود. پوشش زیرلایه با فیلم های نازک فلزی اهمیت زیادی در فن آوری های معاصر نظیر پوشش های اپتیکی، حفاظت در برابر خوردگی، تجهیزات نیمه هادی و ... دارد. خواص فیزیکی و مورفولوژی مواد به ویژه فلزات، در حالت نانو تفاوت بسیاری با خواص آن در حالت توده ای دارد و همچنین باز پخت لایه ها در دماهای مختلف باعث تغییراتی در این خواص می شود. در این پژوهش، فیلم های نازک طلا با ضخامت های 350، 500 و 1000 آنگستروم بوسیله فرآیند فیزیکی از نوع تبخیر با باریکه الکترونی تحت خلأ بالا ( Torr5-10×5) بر روی زیرلایه های شیشه ای مسطح نشانیده شد و سپس در دماهای 300، 400، 500 و 600 درجه سلسیوس به مدت 1و 2 ساعت در معرض هوا توسط کوره بازپخت شدند. خواص فیزیکی، اپتیکی و مورفولوژی آنها به صورت تابعی از دمای بازپخت به وسیله طیف سنجی پراش اشعهx (XRD)، اسپکترومتری فرابنفش- مرئی(UV-VIS) و تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM ) مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفت. نتایج بدست آمده حاکی از آن است که با افزایش دمای بازپخت نانو- میکروذرات طلا ایجاد شده اند. در این تحقیق فیلم های نازک یکنواخت، تشکیل نانو- میکروذرات طلا می دهند