در سالهای اخیر استفاده از پوششهای Arc-PVD بر پایه نیترید فلزات واسطه به صورت روز افزون در صنایع مختلفی روبهافزایش است. ازاینرو مطالعه تغییر و تحولات این پوششها در دماهای مختلف کاری، امری مهم تلقی میشود. بنابراین، در این پژوهش تأثیر عملیات حرارتی بر تحولات فازی و ریزساختاری پوشش نیتریدی CrN/CrTiSiN بررسی شد. پوشش اعمال شده به مدت 1 ساعت در دماهای 500، 600، 700، 800، 900 و 1000 درجه سلیسیوس در اتمسفر محیطی هوا مورد عملیات حرارتی قرار گرفت. بهمنظور بررسی خواص حاصل شده از پوششها از پراش پرتو ایکس (XRD)، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان (FESEM) و در نهایت آزمون چسبندگی به روش راکولسی (Rockwell C) انجام شد. نتایج نشان داد که اعمال عملیات حرارتی تا 800 درجه سلیسیوس فاز Cr2N را کاملاً جایگزین فاز CrN خواهد کرد. افزایش دما به 900 و 1000 درجه سلیسیوس فازهای اکسیدی Cr2O3 و SiO2 را در ساختار فازی پوشش پدیدار کرد. تحول فازی Cr2N→Cr2O3 با افزایش حجم همراه بوده و این افزایش حجم منجر به تشکیل و رشد ریزترکها و در نهایت تخریب پوشش خواهد شد.