در پژوهش حاضر تأثیر عملیات پسا تاب کاری بر تحولات فازی، ریزساختاری و سایشی پوشش های CrTiSiN بررسی شد. پوشش موردمطالعه توسط روش نهشت فیزیکی بخار با تبخیر قوس کاتدی بر زیرلایه از جنس Ti6Al4V اعمال شد. نمونه های لایه نشانی شده در دمای 600 درجه سانتی گراد به مدت 1 ساعت در اتمسفر هوای کوره مورد عملیات پسا تاب کاری قرار گرفتند. در این پژوهش از پراش پرتو ایکس (XRD)، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان (FESEM)، آزمون چسبندگی به روش راکول سی (Rockwell C) و آزمون پین روی صفحه (Pin-on-disk) جهت بررسی خواص قبل و پس از عملیات پسا تاب کاری استفاده شد. نتایج به دست آمده نشان داد که پس از عملیات پسا تاب کاری تنش باقی مانده از 409/10 گیگاپاسکال به 270/5 گیگاپاسکال کاهش پیدا کرده و نیز خواص چسبندگی از HF2 به HF1 رسید. در وجه دیگر، در سطح پوشش فازهای جدیدی از جمله Cr2N، Cr2O3 و SiO2 تشکیل شدند. حصول فازهای مذکور در نمونه های لایه نشانی شده و پساتاب کاری شده موجب کاهش ضریب اصطکاک از 42/0 به 48/0 و حجم سایشی از 43/680 به 57/1 میلیمتر مکعب شد. بهبود خواص حاصل شده احتمالاً ناشی از کاهش تنش پسماند و تشکیل فازهای جدید بر سطح است.