حسن علم خواه

هدف از این مقاله، ایجاد پوشش نانوساختار سه لایه TiNx/TiAlN/TiNy با استفاده از روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) و سپس مقایسه خواص تریبولوژیکی آن از جمله چسبندگی و ضریب اصطکاک با پوشش های تک لایه TiAlN و TiN می باشد. برای این منظور، پوشش ها توسط دستگاه DC-PACVD و در شرایط یکسان دمای لایه نشانی، درصد چرخه کار، بسامد و جریان گازی H2/Ar/N2 به ترتیب در 470 سانتی گراد، 33 درصد، 10 کیلوهرتز و 50/150/400 sccm لایه نشانی شدند. برای لایه نشانی TiAlN نسبت پیش ماده های TiCl4 به AlCl3 به ترتیب 1 به 2 در نظر گرفته شد. برای مطالعه و ارزیابی خواص پوشش ها از FE-SEM، XRD و دستگاه های ریزسختی سنج، آزمون خراش و آزمون سایش استفاده شد. نتایج دلالت می کند که پوشش نانوساختار سه لایه TiNx/TiAlN/TiNy خواص تریبولوژیکی مطلوب تری نسبت به پوشش های تک لایه TiN و TiAlN دارد. در پوشش سه لایه، پوشش TiN لایه زیرین باعث تقویت چسبندگی پوشش TiAlN به زیرلایه و پوشش TiN لایه خارجی موجب کاهش زبری سطحی و کاهش ضریب اصطکاک کل پوشش می شود.