هدف از این مقاله، بررسی اثر درصد چرخه کار به عنوان یکی از متغیرهای پلاسما بر خواص مکانیکی پوشش نانوساختار نیترید تیتانیوم-آلومینیوم (TiAlN) است. برای این منظور از روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) در سامانه جریان مستقیم پالسی استفاده شد. برای بررسی متغیر درصد چرخه کار، پوشش ها در درصدهای 30، 40 و 50 درصد و در دمای لایه نشانی 470 درجه سانتی گراد، فرکانس 10 کیلوهرتز، فشار 3 میلی بار به مدت 210 دقیقه اعمال شدند. نتایج بدست آمده از آزمون FE-SEM، XRD، EDS، nano-indentation و دستگاه اندازه گیری تنش پسماند دلالت دارد که با کاهش درصد چرخه کار از 50 تا 30 درصد، شاخص تغییر شکل پلاستیکی (H3/E2) از مقدار 4/0 به 6/0 افزایش می یابد. بهبود خواص مکانیکی با کاهش درصد چرخه کار احتمالا به دلیل افزایش تنش پسماند، کاهش اندازه دانه و کاهش ضریب بافت بلوری در جهت (111) است که ارتباط هریک از آنها بر خواص مکانیکی پوشش در مقاله بحث شده است.
