هدف از این مقاله، استفاده از آزمون پراش پرتو ایکس (XRD) برای ارزیابی کیفی خواص مکانیکی پوشش نانوساختار سخت نیترید آلومینیوم تیتانیوم (TiAlN) و تحلیل رفتار آن با استفاده از روابط حاکم در علم مواد می باشد. برای این منظور پوششهای نانوساختار TiAlN و TiN با استفاده از روشهای PACVD و PVD به صورت جداگانه لایه نشانی شدند. برای مقایسه نتایج بدست آمده با مقادیر واقعی از دستگاههای نانو دندانه گذاری ، ریزسختی سنجی و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان استفاده شد. نتایج دلالت دارد که با استفاده از روش XRD و تحلیل پیک های بدست آمده از این روش، می توان به خوبی خواص مکانیکی پوششها را به طور کیفی مورد ارزیابی قرار داد. برای اثبات ارتباط میان خواص مکانیکی با اطلاعات مستخرج از نمودارهای XRD، از عوامل مختلفی چون پارامتر شبکه، میکروکرنش و تنش پسماند، ضریب بافت بلوری، چگالی نابجایی ها و اندازه دانه بلوری بهره گرفته شد. در نتیجه این روش می تواند به عنوان روش غیرمخرب و ارزان، برای مقایسه و ارزیابی کیفی خواص مکانیکی مواد لایه نازک مورد استفاده عملی قرار گیرد.
