در این پایان نامه به بررسی ناهمواری سطح یک لایه نازک با استفاده از پارامترهای آماری مرتبه اول می پردازیم. ارزیابی زبری سطح برای بسیاری از مشکلات اساسی مانند اصطکاک، تغییر شکل تماس، هدایت جریان حرارتی و الکتریکی، محکم بودن اتصالات تماس و دقت موقعیت بسیار مهم است. به همین دلیل، زبری سطح برای سال های زیادی موضوع تحقیقات تجربی و نظری بوده است. هندسه ی سطح واقعی آن قدر پیچیده است که تعداد محدودی از پارامترها نمی توانند شرح کاملی را ارائه دهند. در این پژوهش از پوشش نازک TiO2 بر روی بستر SnO2 استفاده شده است. جهت اعمال پوشش لایه نازک از روش انباشت پرتو الکترونی استفاده شده است. ضخامت لایه ها برای سه نمونه مختلف به مقادیر حدود 100، 150 و 250 نانومتر رسید که به ترتیب نمونه های 1، 3 و 2 نامگذاری شدند. به منظور بررسی مورفولوژی سطح پوشش و همچنین ضخامت پوشش اعمال شده بر روی بستره از آزمون میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) مجهز به طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس (EDS) استفاده شد. شناسایی فازها و ساختار کریستالی فیلم نازک ایجاد شده با استفاده از تکنیک پراش پرتو ایکس (XRD) انجام شد. و برای اندازه گیری توپوگرافی سطح ، با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و در حالت تماسی انجام شد. تاثیر ضخامت لایه ها بر روی مورفولوژی سطح ، توپوگرافی و ساختار کریستالی پوشش بررسی شده است. همچنین در این پایان نامه، دو پارامتر نوآورانه هندسی جهت مدلسازی و بررسی دقیقتر زبری سطح معرفی شده است. این پارامترها عبارتند از: میانگین مدول شیب سطح که بر پایه شیب پستی و بلندی های موجود بر روی سطح در دو بعد بدست می آید و مدول انحنای قله-دره ها که بر پایه شعاع انحنای ناهمواری-ها بنیان نهاده شد.که نتایج این پژوهش نشان داد که پارامترهای هندسی معرفی شده ، توانستد به خوبی دیگر نتایج حاصل از آزمون AFM را تایید نموده و این قابلیت را دارند که به عنوان پارامترهای جدیدی برای بررسی زبری سطح مورد استفاده قرار گیرند.
