لایه های نازک اکسید روی، مورد استفاده در این تحقیق، بر روی زیر لایه های شیشه ای با روش انباشت تبخیر با پرتو الکترونی تهیه شده اند. به منظور بررسی تأثیر میزان دمای بازپخت بر مورفولوژی (ریخت شناسی) سطح، نمونه ها در دماهای 200 ، 300، 400 و 500 بازپخت شده اند. برای شناسایی فاز، ساختار کریستالی نمونه ها و محاسبه اندازه بلورک ها از دستگاه پراش پرتو-x استفاده شده و داده های دستگاه با استفاده از نرم افزار اکسپرت تجزیه و تحلیل گردیده است. هم چنین برای محاسبه پارامترهای اماری زبری و تحلیل ریخت شناسی سطح لایه ها از میکروسکوپ نیروی اتمی استفاده شده و نتایج دستگاه با نرم افزار جیوادیون و کد نویسی در نرم افزار متلب تجزیه و تحلیل گردیده است. بررسی نتایج پراش پرتو-x نشان می دهد که این نمونه ها هم خوانی خوبی با ZnO مرجع داشته و اندازه بلورک در نمونه هایی که در دمای بالاتر بازپخت شده اند نسبت به اندازه بلورک در نمونه هایی که در دمای پایین تر بازپخت شده اند؛ بزرگ تر هستند. بررسی نتایج تصاویر میکروسکوپ نیروی اتمی نیز نشان می دهد که زبری متوسط و زبری RMS در نمونه های بازپخت شده در دمای بالاتر دارای مقادیر بزرگ تر هستند؛ یعنی دمای بازپخت لایه ها با زبری سطح رابطه مستقیم دارد. هم چنین پارامتر زبری RMS با استفاده از روش آماری و تحلیل فرکتالی سطح لایه ها محاسبه گردیده و با هم مقایسه گردیده اند که نتایج حاصله با هم هم خوانی خوبی دارند.
