آزمون میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) یکی از مهمترین آزمون هایی است که برای بررسی زبری سطح مورد استفاده قرار می گیرد. در پژوهش حاضر دو پارامتر نوآورانه هندسی جهت مدلسازی و بررسی دقیقتر زبری سطح معرفی شده است. این پارامترها عبارتند از: میانگین مدول شیب سطح که بر پایه شیب پستی و بلندی های موجود بر روی سطح در دو بعد بدست می آید و مدول انحنای قله-دره ها که بر پایه شعاع انحنای ناهمواری ها بنیان نهاده شد. به منظور بررسی کاربرد این دو پارامتر، با لایه نشانی یک لایه نازک TiO2 بر روی SnO2 به مقایسه نتایج حاصل از این دو پارامتر با دو پارامتر معمول حاصل از نتایج آزمون AFM (پارامترهای ارتفاع میانگین حسابی و ریشه میانگین مربعات) پرداخته شد. نتایج این پژوهش نشان داد که پارامترهای هندسی معرفی شده در این پژوهش توانستد به خوبی دیگر نتایج حاصل از آزمون AFM را تایید نموده و این قابلیت را دارند که به عنوان پارامترهای جدیدی برای بررسی زبری سطح مورد استفاده قرار گیرند.
