لایه های نازک اکسید روی، مورد استفاده در این تحقیق، بر روی زیر لایه های شیشه ای با روش انباشت بخار فیزیکی پرتو الکترونی تهیه شده اند. به منظور بررسی تأثیر میزان دمای بازپخت بر مورفولوژی سطح، نمونه ها در دماهای 200 ، 300، 400 و 500 بازپخت شدند. برای شناسایی نمونه ها و محاسبه اندازه دانه از پراش پرتو-x و برای محاسبه پارامترهای زبری از میکروسکوپ نیروی اتمی استفاده شده است. بررسی نتایج نشان می دهند که نمونه بازپخت شده در دمای بالاتر، دارای پارامترهای زبری و اندازه دانه بزرگتر هستند.
