امروزه، تعیین ضرایب اپتیکی مواد از اهمیت زیادی برخوردار است. از اینرو، روش های انداز گیری متعددی بر مبنای طیف های بازتابی یا عبوری ابداع شده است. یکی از روش های مرسوم برای تعیین این ضرایب بیضی سنجی است. بیضی سنجی یک روش غیرمخرب و غیرتماسی برای اندازه گیری ضرایب اپتیکی و ضخامت لایه های نازک است. در این پایان نامه به روش بیضی سنجی تکفام با استفاده از بیضی سنج تحلیلگر چرخان برخی از ضرایب اپتیکی مواد (در حالت کپه ای و لایه نازک)، با پردازش پارامترهای بیضی سنجی (ψ و Δ)، محاسبه شدند. روش معرفی شده نسبت به سایر روش های بیضی سنجی ارزانتر و ساده است، و نتایج با دقت خوبی با مقادیر مورد انتظار سازگاری دارند.
