در این پژوهش لایه نازک اکسید ایندیوم آلاییده با قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر روی بستره ی شیشه ای تمییز شده در دمای اتاق تهیه شد و سپس لایه در دمای c300 به مدت 1ساعت در مجاورت هوا بازپخت شد. ویژگی های فازی لایه به وسیله ی پراش اشعه ی ایکس (XRD) مورد بررسی قرار گرفت. تحلیل مورفولوژی سطح لایه توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) انجام پذیرفت. همچنین با استفاده از طیف سنج نوری طیف های نوری بازتاب و تراگسیل در محدوده ی طول موجی 2500- 250 نانومتر ثبت شد. نتایج حاصل از XRD ساختار بلوری بعد از باز پخت و ساختار بی شکل قبل از آن را تائید می کند. اندازه گیری های طیف سنجی شفافیت بالای 80% را در ناحیه ی مرئی نشان می دهد. همچنین خواص اپتیکی لایه با استفاده روش کرامرز-کرونینگ مورد بررسی قرار گرفت.
