در این پژوهش برای مطالعه روند تکاملی مورفولوژی سطح یک لایه نازک در طی فرایند انباشت (رسوب گذاری)، ابتداء فرایند انباشت پرتابی (Ballistic Deposition) معرفی می شود. سپس، با مروری بر فراکتل ها (Fractals)، با استفاده از مفاهیم فراکتال مورفولوژی سطح یک لایه نازک مورد بررسی قرار می گیرد. نشان داده می شود که، اگرچه فرایند انباشت یک لایه پیچیده است و مدل های مختلفی برای آن معرفی شده است، این مدل می تواند اطلاعات جامعی را در مورد سطح یک لایه ارائه دهد.