یکی از مواد بسیار مورد استفاده در سطوح خودتمیز شونده و بویژه شیشه ها، اکسید تیتانیوم است. این ماده مکانیزم متفاوتی نسبت به دو روش قبلی دارد. در این مکانیزم، اکسید تیتانیوم روی سطح مورد نظر پوشانده (coat) شده و با تابش پرتو فرابنفش(UV) به آن، الکترون آزاد می کند. الکترون های آزاد شده از تیتانیوم اکسید، با آب یا هوای اطراف واکنش داده و تولید رادیکال آزاد می کنند. این رادیکال های آزاد، با مواد ارگانیک روی سطح واکنش داده و باعث شکستن و نابودی آنها می شوند. همچنین پوشش اکسید تیتانیوم، می تواند سطح شیشه را که در حالت عادی سطحی نسبتا آبگریز است، به سطح ابر آبدوست تبدیل کند که در نتیجه این تبدیل، با بارش باران، قطرات آب به جای گلوله گلوله شدن، کاملا روی سطح پخش میشوند که باعث راحتتر تمیز شدن سطح نیز می شود.
