در این تحقیق، ابتدا معادلات ولتاژ- جابجایی برای حرکت عرضی غیر خطی میکرو ورق دایروی گیردار تحت بار الکترواستاتیکی در دو حالت با یک و دو صفحه الکترود بدست آمده است. سپس برای رابطه ای صریح برای ولتاژ کشیدگی آن که باعث ناپایداری و خرابی سیستم می شود، ارائه شده است. برای صحه گذاری روابط بدست آمده از حل تحلیلی، شبیه سازی اجزا محدود برای میکروورق تحریک شده یک طرفه انجام شده که نتایج حل تحلیلی را با دقت بالایی تأیید کرده است. همچنین نتایج حل تحلیلی با نتایج آزمایشگاهی موجود مورد مقایسه قرار گرفته که صحت آن به خوبی تأیید گردیده است. این صحه گذاری ها به نوع دو طرفه نیز قابل تعمیم می باشد. در ادامه تأثیر مشخصه های هندسی بر ولتاژ کشیدگی مورد بررسی قرار گرفته است و نشان داده شده است که همواره ولتاژ کشیدگی در سیستم دو طرفه بیشتر از نوع یک طرفه می باشد.
