داشتن پوشش با خواص مکانیکی عالی همواره یکی از موارد تاثیرگذار بر کارایی قطعات پوشش داده شده به ویژه قطعات حساس مهندسی می باشد. در این تحقیق، به منظور بهبود خواص فولاد زنگ نزن L316 از پوشش های نانو ساختار تک لایه تیتانیم نیترید (TiN) و چندلایه تیتانیم-تیتانیم نیترید (Ti-TiN) استفاده شده است. به منظور مقایسه پوشش تک لایه و چندلایه، هر دو پوشش به روش رسوب فیزیکی بخار (PVD) و با استفاده از تبخیر قوس کاتدی ( Cathodic Arc Evaporation)انجام شد. فرآیند به مدت یک ساعت و در دمای °C200 با ولتاژ بایاس 200- ولت اعمال شد .پوشش ها از نظر ساختار، سختی و چسبندگی با هم مقایسه شد. شناسایی فازهای موجود در پوشش توسط روش پراش اشعه ایکس(XRD) و اندازه گیری سختی پوشش با استفاده از نانو سختی سنج و همچنین برای ارزیابی ریزساختار از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FE-SEM) استفاده شده است. میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) برای بدست آوردن زبری سطح مورد استفاده قرار گرفت. نتایج حاکی از این است که سختی و زبری در پوشش چندلایه نسبت به پوشش تک لایه افزایش پیدا کرده است.
